Compresseur d'air sans huile pour les laboratoires de semi-conducteurs

Pour établir des lignes utilitaires fiables pour les installations de recherche de précision, sourcez-vous auprès des fournisseurs chinois de compresseurs d’air sans huile pour les laboratoires de semi-conducteurs. Les solutions d'air haute pureté de DECHUAN utilisent des joints d'isolation en carbone multicouches pour éliminer les traces d'hydrocarbures, garantissant ainsi une qualité de gaz irréprochable pour la gravure critique du silicium.

Exigences critiques en matière de pureté des gaz pour les salles blanches

Dans la fabrication de semi-conducteurs et la lithographie en couches minces, même une seule goutte microscopique de vapeur d’huile transportée dans la conduite d’air peut ruiner un lot de production entier. Ce produit spécialisé est conçu pour répondre aux normes de pureté les plus élevées :

• Distribution d'air de classe 0 certifiée TÜV : nos systèmes sont soumis à des tests rigoureux à des températures de fonctionnement variables. Une analyse indépendante confirme qu'il n'y a absolument aucune trace d'huile dans le flux d'air de sortie.

• Chemins d'air internes sans corrosion : chaque morceau de tuyauterie, faisceau de refroidissement et matrice de séparation en aval de la chambre de compression est fabriqué en acier inoxydable de première qualité pour empêcher les flocons de rouille de contaminer les conduites d'air de la salle blanche.

• Intégration Elektronikon® avancée : le contrôleur intégré suit de près les mesures opérationnelles et propose des arrêts de sécurité proactifs pour garantir qu'aucun air impur ne pénètre jamais dans la grille du laboratoire.

Le coût élevé de la micro-contamination dans l’électronique

Dans la fabrication de tranches de semi-conducteurs, une seule gouttelette d’aérosol d’huile peut contaminer l’ensemble d’une salle blanche, détruisant des milliers de tranches de silicium et causant des millions de pertes de temps de production. Les compresseurs d’air traditionnels ne peuvent pas garantir la pureté absolue sans hydrocarbure requise pour ces processus à l’échelle nanométrique.

Le compresseur d'air sans huile spécialisé pour les laboratoires de semi-conducteurs garantit une sécurité de processus pure :

• Débit d'air certifié CLASSE 0 : testé strictement par le TÜV sur des plages thermiques et de pression extrêmes pour garantir une présence d'huile absolument nulle.

• Composants internes sans particules : les prérefroidisseurs en acier inoxydable et les échangeurs de chaleur à ailettes en étoile éliminent les flocons d'oxydation ou les rejets de produits chimiques dans le trajet de l'air.

• Bouclier de surveillance électronique : des alarmes de maintenance proactives et des arrêts automatiques en cas de panne empêchent les déviations du système avant qu'elles n'atteignent vos outils de salle blanche.

Paramètres techniques de pureté

• Puissance nominale du système : configurations haute densité de 55 kW à 900 kW.

• Débit volumétrique : 4,2 à 148,5 m³/min de débit de flux propre.

• Classification de la teneur en huile : validation ISO 8573-1 Classe 0 totalement sans huile.

• Disposition de refroidissement : Refroidissement du fluide en acier inoxydable empêchant le dégazage chimique.

Les conditions de référence de performance de l'unité ont été mesurées selon l'Annexe C, 4e édition (2009) de la norme ISO 1217 :

· Humidité relative : 0%

· Pression d'entrée absolue : 1 bar

· Température d'entrée : 20 °C Le débit de décharge (FAD) a été mesuré aux pressions de fonctionnement suivantes :

Type à vitesse constante :

· Type -7,5 barres : 7 barres

· Type -8,6 bars : 7 bars

· Type -10 bars : 9 bars

Type de VSD :

· Type -8,6 bars : 7 bars

· Type -10,4 bars : 9 bars

· (2) Niveau de pression acoustique d'émission pondéré de classe A du poste de travail (LpWSAd). Mesuré selon la norme ISO 2151:2004 (en utilisant la méthode de balayage de l'intensité sonore 150 9614/2). Le facteur de correction nouvellement ajouté est une valeur totalement incertaine (KpAd), conforme au code de test.

· (3) Le poids est uniquement à titre de référence ; le poids réel fourni prévaudra.

ZR/ZT 110-160 (FF) STD

Selon la norme ISO 1217 Annexe C, 4e édition (2009), les conditions de référence de performance de l'unité sont les suivantes :

· Humidité relative : 0%

· Pression d'entrée absolue : 1 bar

· Température d'entrée : 20°C

Le déplacement FAD est mesuré aux pressions de fonctionnement suivantes :

Modèles à vitesse constante :

-Modèles 7,5 bars : 7 bars

-Modèles 8,6 bars : 7 bars

-Modèles 10 bars : 9 bars

Modèles VSD :

-Modèles 8,6 bars : 7 bars

-Modèles 10,4 bars : 9 bars

(2) Niveau de pression acoustique d'émission pondéré classe A du poste de travail (LpWSAd). Mesuré selon la norme ISO 2151:2004 (méthode de balayage de l'intensité sonore ISO 9614/2). Le facteur de correction KpAd nouvellement ajouté est incertain et conforme au code de test.

(3) V1=380V, V2=400V.

(4) Le poids est uniquement à titre de référence ; le poids réel prévaudra.

ZR/ZT 200-275 (FF)

-Humidité relative : 0 %

-Pression d'entrée absolue : 1bar

-Température d'entrée: 20 ° ℃

Le débit de décharge (FAD) a été mesuré aux pressions de fonctionnement suivantes

Type à vitesse constante :

-Type 7,5 bars : 7 bars

-Type 8,6 bars : 7 bars

-Type 10 bars : 9 bars

Type VSD :

-Type 8,6 bars : 7 bars

-Type 10,4 bars : 9 bars

(2) Niveau de pression acoustique d'émission pondéré classe A du poste de travail (LpWSAd).

Mesuré selon la norme ISO 2151:2004 (en utilisant 150 9614/2 (méthode de balayage de l'intensité sonore).

Le facteur de correction nouvellement ajouté est une valeur totalement incertaine (KpAd), conforme au code de test.

(3) Le poids est uniquement à titre de référence ; le poids réel fourni prévaudra.

ZR 300-750

Les conditions de référence de performance de l'unité ont été mesurées selon l'Annexe C, 4e édition (2009) de la norme ISO 1217 :

· Humidité relative : 0%

· Pression d'entrée absolue : 1 bar

· Température d'entrée : 20 °C Le débit de décharge (FAD) a été mesuré aux pressions de fonctionnement suivantes :

Type à vitesse constante :

· Type -7,5 barres : 7 barres

· Type -8,6 bars : 7 bars

· Type -10 bars : 9 bars

Type de VSD :

· Type -8,6 bars : 7 bars

· Type -10,4 bars : 9 bars

· (2) Niveau de pression acoustique d'émission pondéré de classe A du poste de travail (LpWSAd). Mesuré selon la norme ISO 2151:2004 (en utilisant la méthode de balayage de l'intensité sonore 150 9614/2). Le facteur de correction nouvellement ajouté est une valeur totalement incertaine (KpAd), conforme au code de test.

· (3) Le poids est uniquement à titre de référence ; le poids réel fourni prévaudra.

ZR200X-400X

Les conditions de référence de performance de l'unité ont été mesurées selon l'Annexe C, 4e édition (2009) de la norme ISO 1217 :

· Humidité relative : 0%

· Pression d'entrée absolue : 1 bar

· Température d'entrée : 20 °C Le débit de décharge (FAD) a été mesuré aux pressions de fonctionnement suivantes :

Type à vitesse constante :

· Type -7,5 barres : 7 barres

· Type -8,6 bars : 7 bars

· Type -10 bars : 9 bars

Type de VSD :

· Type -8,6 bars : 7 bars

· Type -10,4 bars : 9 bars

· (2) Niveau de pression acoustique d'émission pondéré de classe A du poste de travail (LpWSAd). Mesuré selon la norme ISO 2151:2004 (en utilisant la méthode de balayage de l'intensité sonore 150 9614/2). Le facteur de correction nouvellement ajouté est une valeur totalement incertaine (KpAd), conforme au code de test.

· (3) Le poids est uniquement à titre de référence ; le poids réel fourni prévaudra.

Étude de cas utilisateur en laboratoire de salle blanche

Un fabricant d'électronique en Asie a installé le système d'air spécialisé de DECHUAN pour fournir des boucles de génération d'azote de haute pureté et des bras d'essai pneumatiques. Auparavant, les compresseurs standards permettaient aux traces de vapeurs d'huile de migrer au-delà des filtres en ligne, recouvrant les lentilles de lithographie et provoquant des microfractures dans les revêtements des plaquettes. Après avoir installé le compresseur d'air sans huile pour les laboratoires de semi-conducteurs, le laboratoire n'a signalé aucun incident de contamination des conduites lié à l'huile, ce qui a permis d'économiser des coûts substantiels de nettoyage et de réétalonnage en salle blanche sur deux ans de fonctionnement continu.

Adaptation et contrôle des composants personnalisés

• Mise à niveau des matériaux en acier inoxydable : Nous remplaçons tous les composants internes moulés standard par de l'acier inoxydable de haute qualité pour répondre aux directives strictes en matière de microcontamination.

• Protocoles de communication avancés : l'unité est préchargée avec des protocoles de communication spécialisés, permettant aux centres de contrôle des salles blanches de surveiller les mesures de l'air à distance.

• Empreinte structurelle compacte : l'aménagement intérieur est optimisé pour minimiser l'encombrement, ce qui facilite son installation dans les espaces utilitaires restreints du sous-sol du laboratoire.

FAQ Acheteur Industriel

Q : Pouvons-nous connecter ce compresseur directement à des boucles de filtration ultra-haute pureté (UHP) ?

R : Oui, notre débit d’air est entièrement compatible avec les séchoirs par adsorption avancés pour salles blanches et les systèmes de filtration de particules submicroniques. Étant donné que l'air brut ne contient aucune vapeur d'huile, vos filtres spécialisés au point d'utilisation ne seront pas obstrués par un brouillard d'huile, prolongeant ainsi leur durée de vie.

Q : Comment les joints de type Z garantissent-ils une migration d'huile nulle de l'ensemble d'engrenages ?

R : Le compresseur d'air sans huile pour laboratoires de semi-conducteurs comporte un espace de ventilation atmosphérique physique entre le carter d'engrenage lubrifié à l'huile et la chambre de compression sèche. Des joints annulaires en carbone sans contact spécialisés sont associés à des canaux de pression négative, garantissant que tout brouillard d'huile d'engrenage est complètement empêché de pénétrer dans le flux d'air propre.

Q : Que se passe-t-il si un capteur de température interne détecte une lecture anormale ?

R : Le contrôleur Elektronikon® échantillonne les données vitales plusieurs fois par seconde. Si un pic de température est détecté à un moment donné, le système déclenche instantanément un arrêt automatique et ferme les vannes d'isolement, garantissant ainsi que l'air non refroidi ne s'écoule jamais en aval dans les équipements sensibles de votre laboratoire.